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1、
使用三氟甲烷和苯的混合气体，利用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备了F/C比在011&062之间的αC∶F薄膜。
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2、
3、
微波ECR等离子体物理汽相沉积研究和应用
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